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テクニカルサポート
- 塩素などハロゲンガス対応。
- 金属不純物除去、カーボン純化などに効果
- 新開発棚板ヒーター採用により均一加熱が可能。
| 最高温度 | 1400℃ |
|---|---|
| 雰囲気 | Cl2、HCl、N2、H2、Ar など |
| 真空度 | ～数Pa |
| 熱源 | 電気 |
| 装置寸法 |
5000W×5100L×2200H(mm) (メンテナンススペース含む) |
| 有効寸法 | 850W×850L×650H（mm） |
