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高温熱処理が可能なクリーンオーブンです。窒素雰囲気対応も可能です。
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基板処理風景
特長
- 500℃迄の加熱に対応しており、熱風循環による均一加熱処理が可能です。
- 高温対応の特殊HEPAフィルターを使用しており、クラス100を達成しました。
- Dry AirやN2ガスをパージ可能であり、高い気密性により酸素濃度40ppmを達成しました。
仕様
| 型式 | CLB-DB040404 | CLB-DB060606 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 強制熱風循環（ダウンブロー型） | ||
| 性能（無負荷状態） | 使用温度範囲 | 50～500℃ | |
| クリーン度 | 温度安定時クラス100/温度昇降温時クラス500 | ||
| 温度分布精度 | ±5.0℃（at500℃） | ||
| 最高温度到達時間 | 約60分 | ||
| 構成 | 内装 | ステンレス鋼 SUS304 #400仕上 | |
| 外装 | 冷間圧延鋼板 メラミン樹脂焼付け塗装 | ||
| 断熱材 | セラミックボード、グラスウール、ロックウール等 | ||
| ヒーター | フィンシーズヒータ（SUS製） | ||
| 送風機モーター/ファン | シロッコファン | ||
| 差圧計 | 0～500Pa | ||
| フィルタ | 高性能耐熱HEPAフィルタ | ||
| コントローラ | 温度制御方式 |
プログラムコントローラーのマイクロコンピュータによるPID制御 |
|
| 温度設定方式 |
▲▼キーによるデジタル設定方式 |
||
| 温度表示方式 | 緑色LEDによるデジタル表示 | ||
| タイマ | 1分～99時間59分または100時間～999時間 | ||
| タイマ分解能 | 1分または1時間 | ||
| その他機能 |
〔オート運転〕 設定した時間後に連続運転スタート、ストップ 〔プログラム運転〕 最大16セグメントのプログラム運転 |
||
| ヒーター制御回路 |
SSR ON-OFF制御 |
||
| 安全装置 | 温度異常、過昇温異常、ヒータ過昇温、ファン異常、漏電ブレーカ、非常停止 | ||
温度プロファイル例
寸法・ユーティリティー
| 型式 | CLB-DB040404 | CLB-DB060606 |
|---|---|---|
| 規格 | 幅×奥行×高さ | 幅×奥行×高さ |
| 内寸法(mm) | 400×400×400 | 600×600×600 |
| 外形寸法(mm) | 760×1425×1650 | 910×1450×2145 |
| 内容積(リットル) | 64 | 216 |
| 電源(200V)/電流(A) | 3相/12KVA | 3相/22KVA |
| ヒータ(kw) | 9.0 | 18.0 |
| 重さ(約kg) | 400 | 700 |
