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接液部は全てPFA、PTFEであり、耐食性、耐薬品性にすぐれています。 半導体プロセスで要求されるクリーン度を満足しており、主に薬液希釈などに用いられます。
標準仕様
| 口径 | 1/2"～1" |
|---|---|
| 材質 | PFA、PTFE |
| エレメント数 | 6 （1モジュール当り） |
| エレメントの固定方法 | テフロンコネクタ当りどめ |
| 接続方法 | テフロンコネクター（クラボウ製ファイナルロック） |
| 使用温度 | Max.100℃ |
| 使用圧力 | Max.0.5MPaG |
型式コード表
寸法
| 型式 | 呼び径 | 外径 ODmm |
内 径 IDmm |
厚み Tmm |
全長 Lmm |
継手 サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MX656 | 1/2" | 12.7 | 9.52 | 1.59 | 180 | 3/8" |
| MX666 | 1/2" | 12.7 | 9.52 | 1.59 | 180 | 1/2" |
| MX756 | 3/4" | 19.05 | 15.87 | 1.59 | 236 | 3/8" |
| MX766 | 3/4" | 19.05 | 15.87 | 1.59 | 236 | 1/2" |
| MX876 | 1" | 25.4 | 22.22 | 1.59 | 304 | 3/4" |
| MX886 | 1" | 25.4 | 22.22 | 1.59 | 314 | 1" |
